- [根欄目]大家平時講的十萬級凈化車間工程是按什么標準設計的2018年06月13日 23:01
- 東莞翔泰凈化,十萬級凈化車間工程標準國以潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。平時大家稱呼的十萬級凈化車間工程標準。
- 閱讀(41) 標簽:凈化工程案例|凈化工程資訊
- [行業(yè)動態(tài)]凈化工程中為何需要嚴格控制潔凈室工程的溫濕度2016年08月24日 20:17
- 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。下面翔泰為您解析為何凈化工程潔凈室需要嚴格控制溫濕度。 在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨
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